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资料名称: JJF(冀) 213-2023 关键尺寸扫描电子显微镜 校准规范
文件类型: PDF文档
文件大小: 742.59 KB
资料归类: 计量标准
整理时间: 2023-08-18
软件简介: 本规范适用于放大倍数20k~200k 的关键尺寸扫描电子显微镜(CD-SEM)的校准。
下载地址: [百度网盘下载 ]
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