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资料名称: T/CSEA 26-2023 电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材 技术条件
文件类型: PDF文档
文件大小: 375.97 KB
资料归类: 综合团体标准
整理时间: 2024-09-13
软件简介: 本文件规定了采用化学共沉淀法、电熔法合成的高纯氧化钇部分稳定氧化锆(ZrO2(HfO2)-7~8 wt. %Y2O3)原材料所制备的陶瓷靶材的技术要求、质量保证,标志、包装、运输和贮存等。
本文件适用于电子束物理气相沉积用8YSZ陶瓷靶材。
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