DB32/T 4378-2022 衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜方块电阻的无损测试四探针法 - 360资料网

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资料名称：	DB32/T 4378-2022 衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜方块电阻的无损测试四探针法
文件类型：	PDF文档
文件大小：	1.73 MB
资料归类：	综合地方标准
整理时间：	2022-12-16
软件简介：	本文件规定了采用导电橡胶探头进行衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜方块电阻四探针无损测试的方法。本文件适用于目测平坦且表面存在纳米、亚微米尺度薄膜样品的方块电阻测定﹐方块电阻测试范围为1×10-4 Ω~1×104Ω
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