TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器

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资料名称：	TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器
文件类型：	PDF文档
文件大小：	15.77 MB
资料归类：	工业自动化
整理时间：	2017-12-11
软件简介：	TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器作者：张辉军著出版时间：2013年版内容简介　　《TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器》采用纳米TiO2球壳薄膜作为敏感薄膜利用Si/TiO2异质结构的优良电学特性设计pn结衬底电极TiO2氧传感器。制备完成的TiO2纳米球壳直径在250nm左右，结构完整。能够满足提高被测气体的表面吸附，获得优良的气体灵敏度的结构特点。《TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器》讨论了采用MEMS技术和CMOS工艺相结合制作的Ti02纳米层壳结构薄膜氧传感器，该传感器可利用异质结构电传输及纳米球壳的纳米效应实现O2检测。目录第1章气体传感器研究概述 1.1 半导体气体传感器简介 1.2 宽禁带TiO2纳米半导体材料 1.3 国内外TiO2气体传感器的研究进展 1.4 研究的目的及意义第2章薄膜特性分析与Si／TiO2异质结构的能带 2.1 TiO2的晶格结构 2.2 氧传感器的薄膜敏感原理 2.3 薄膜表面空间电场、有效空间电荷层厚度dx的相关计算（一维近似） 2.4 Si和TiO2中载流子统计分布情况及能带结构 2.5 Si／TiO2异质结构的能带图第3章 TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器结构设计及传输机制 3.1 氧传感器的基本结构 3.2 TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器制作工艺 3.3 宽禁带半导体气体传感器电流传输特性与机制 3.4 TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器电流传输特性与机制第4章 TiO2纳米层壳结构薄膜的制备 4.1 W-TiO2薄膜的制备与分析 4.2 Pt-TiO2薄膜的制备与分析 4.3 TiO2纳米球壳的制备与分析 4.4 TiO2纳米层壳结构薄膜的TEM与sEM分析第5章氧传感器性能的测定与分析 5.1 工作温度对基准电流的影响 5.2 环境湿度对基准电流的影响 5.3 输出曲线的测量 5.4 选择性 5.5 响应一恢复时间参考文献后记
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