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资料名称: JIS C 5630-28-2020 半导体器件 微机电器件 第28部分:振动驱动MEMS驻极体能量收集装置的性能测试方法
文件类型: PDF文档
文件大小: 15.74 MB
资料归类: JIS标准
整理时间: 2022-12-01
软件简介: JIS C 5630-28-2020 半导体器件 微机电器件 第28部分:振动驱动MEMS驻极体能量收集装置的性能测试方法

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