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资料名称： T/CSTM 01199-2024 多层金属薄膜层结构测量分析方法 X射线光电子能谱
文件类型： PDF文档
文件大小： 531.44 KB
资料归类： 综合团体标准
整理时间： 2024-03-21
软件简介： 本文件规定了X射线光电子能谱仪（XPS）深度剖析测量多层金属薄膜层结构的分析方法。
本文件适用于70 nm~240 nm深度内纳米尺度多层金属薄膜层成分、化学态、膜厚的表征。
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