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资料名称： T/SICA 006-2024 集成电路晶圆厂用天车传送系统通用技术要求
文件类型： PDF文档
文件大小： 621 KB
资料归类： 综合团体标准
整理时间： 2024-06-21
软件简介： 本文件规定了天车传送系统的技术要求、环境要求、安全要求、标志、包装、运输和贮存、交付要求。
本文件适用于集成电路晶圆厂用AMHS系统中的天车传送系统。
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